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反滲透水處理工藝在純水、超純水制備工程中的應用，不但改進了產水品質，減低生產成本，而且制止了環境污染，也推動了純水、超純水制造技術的發展。
原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器/石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水處理裝置/添加阻垢劑裝置→精密過濾器→高壓泵→一級反滲透/RO裝置→紫外線殺菌裝置/臭氧殺菌裝置→用水點
1、原水罐
原水罐用于儲存原水，減小因為原水管中水壓不穩定對反滲透水處理系統造成的沖擊（如水壓過低或過高引起的壓力傳感的反應），同時用于沉淀地下水中的大泥沙顆粒及其它可沉淀物質。
2、原水泵
恒定系統供水壓力，穩定供水量。
3、多介質過濾器
采用多次過濾層的過濾器，除去原水中顆粒在20um以上的雜質（如泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等），可選用手動閥門控制或者全自動控制器進行正、反沖洗等一系列操作，保障反滲透水處理設備產水質量，增加使用壽命。
4、活性炭過濾器
活性炭過濾器運行費用低，可吸附電解質離子，還可進行離子交換吸附。由于吸附作用使表面被吸附復制的濃度增加，因而起到催化作用、除去水中的異味、色素、生化有機物、三鹵化物以及其它的污染物的作用，減低水的余氯值及農藥污染物。
5、軟水處理裝置/添加阻垢劑裝置
RO裝置為了溶解固體形物的濃縮排放和淡水的利用，為制止膜特性受損，在進入反滲透膜組件之前，應使用軟水處理裝置，或投放適量的阻垢劑阻止碳酸鹽、SiO2、硫酸鹽的晶體析出，制止反滲透水處理設備的結垢污染。
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